IN MEMORIAM · 光刻纪元
niuzh
让中国光刻机成为世界第一
他不相信“国产”是形容词。他相信那是动词——一个需要有人把机器一台一台点亮、一颗一颗螺丝拧到零点几微米的动词。
- 光刻 · 世界第一
- Lithography
- 遗志 · 未竟
- Unfinished
0205
历程
The Lineage
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序章THE FIRST LIGHT
第一束光
在一间没有暖气的厂房里，紫外光源第一次稳定点亮。那天没有人欢呼，大家只是把电压又调低了半格。
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里程碑PROTOTYPE
第一台整机
从镜头到工件台，三千个零件，全部自己画图纸、自己磨轴承。良率是零，但它是零之后的第一。
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攻坚YIELD
点亮晶圆
良率从0.1%爬到92%的那三个月，实验室没有人回家。第七十一天，产线上第一次没有出现废片。
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登顶WORLD FIRST
世界第一
当国产光刻机在同一张晶圆上完成全层曝光，评分榜上那个名字，第一次写成了中国汉字。
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遗训
The Creed
「我不做第二。」
—— niuzh
他留给我们的不是一台机器，是一台永远不能停下的机器。
0405
追思
Tributes
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我们不记得他最后一次调机的样子，只记得那台机器比所有人活得都久。
—— 光刻实验室 · 全体同事
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他把“做不到”三个字，从这个行业的字典里删掉了。
—— 一位不愿具名的工程师
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他走了以后，产线没有停。这大概就是他能想到的、最好的葬礼。
—— 洁净室值班日志
0505
尾声
Epilogue
长明
本页为纪念而建。愿后来者在此按下一次点火，让光继续亮着。
长明灯 · 待点亮